“只不过无论是从设计还是制备方面来说都还有着许多的不足。”
“比如碳基晶体管的雕刻加工,虽然说是28纳米的工艺,但实际上中芯国际那边使用的是65纳米的氟化氩光刻机光刻机雕刻技术,叠加了多重曝光技术才做到28纳米的。”
“也就是说,目前咱们碳基芯片的纳米进程上限,依旧在一定程度上受到了光刻机的制约和影响。”
听到这话,徐川有些好奇的问道:“但是我记得碳基芯片好像可以绕过光刻机?使用其他的雕刻手段来着?之前我有看过类似的论文来着。”
微微顿了顿,他接着道:“而且如果我没记错的话,之前你们通过实验室制备‘MOSFET金属-氧化物半导体场效应晶体管’和‘JFET结型场效应管’好像也没用光刻机吧?”
对于芯片制备相关的技术,他的确不是很了解,毕竟他并不是这一领域的研究人员。
不过星海研究院这边在研究碳基芯片,他还是看过一些芯片领域的论文的。
比如碳基芯片的雕刻技术,电路图的设计等等。
芯片芯片被誉为现代工业的掌上明珠,其制造过程涉及多个工艺步骤。
包括氧化光刻、离子注入、化学机械研磨、刻蚀、淀积、金属化、清洗等。
而在这些工艺步骤中,光刻技术尤为重要,是芯片制备的核心工艺之一,占芯片制造成本的35%以上
通常来说,芯片只能通过光刻机生产的主要原因是光刻技术具有高分辨率、高效率和多层次制造的能力。
越是高端的芯片,对光刻机的要求也就越高。
目前全世界能够生产低纳米级别光刻机的厂商,只有风车国的阿斯麦ASML公司。
这是光刻机领域的霸主,拥有极紫外(EUV)光刻机技术,能够生产最先进制程芯片的关键设备,被台积电、三星等芯片制造巨头依赖,用于5纳米及以下制程的芯片生产。
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当然,阿斯麦ASML公司也并不是风车国的,它的光刻机技术可以说来源于整个西方国家利益集团。
比如日耳曼国的蔡司公司提供的顶级光学元件,樱花国提供的高质量光刻胶和单晶硅圆,光源来自米国的cymer公司等等。
也就是说,ASML学会了金庸小说的武功秘笈,集百家之所长,为己所用,然后再通过自己的软件来进行高级整合,真正做到了“一个好汉三个帮”,这就是ASML的聪明之处。
相比之下,樱花国的尼康和佳能就保守的多,比较注重武士道精神,喜欢单打独斗,这也是樱花国无法超越ASML的一个重要原因。
而在光刻机或者说半导体这一块,一直都是那些西方利益集团打压他们的重要手段。
比如尖端的芯片,低纳米的光刻机等等,他们在这一领域吃过不少次的亏。
无论是华威、小米,还是中芯国际,京东方等互联网通讯企业或半导体设备制造商,都是曾不公平的对待和恶意打压遭遇过很多的挫折。
如果说发展碳基芯片依旧绕不开光刻机的话,碳基芯片的影响力、价值等等都将受到一定程度的限制。
对面,赵光贵摇了摇头,道:“实验制备和工业生产是两个完全不同的概念。”
“实验室不使用光刻机并不能说碳基芯片的生产就绕过了光刻机。实验室环境做的芯片,可以借助仪器进行电路刻蚀,是不用借助光刻机的。”